【摘 要】
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本工作研制了一台采用流量计测量复合分子泵抽速的装置。本装置由测试台车、机柜、计算机自动控制和数据采集处理系统三部分组成。选用3个高精度流量计,满量程分别为1000 scc
【机 构】
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皇明太阳能股份有限公司,镀膜研发中心,
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本工作研制了一台采用流量计测量复合分子泵抽速的装置。本装置由测试台车、机柜、计算机自动控制和数据采集处理系统三部分组成。选用3个高精度流量计,满量程分别为1000 sccm、100 sccm和10 sccm,并联组成流量计组件用于测量输入气体的流量,选用高精度的复合真空计测量真空测试罩内气压。抽速测试结果显示,一台1200 L/s的复合分子泵N2抽速重复测量5次,14个气压测试点对应的抽速的最大相对标准偏差小于2%,重复性好。抽速测量的误差主要由流量计和真空计的系统误差决定。采用流量计测量一台分子泵在气压2.00×10-3Pa～2.00 Pa范围的抽速,测量时间20 min以内。
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