Study of a displacement sensor based on transmission varied-line-space phase grating

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一个排水量传感器基于传播 varied-line-space (VLS ) ,阶段栅栏被建议。在传感器的性质和 VLS 的参数之间的关系被讨论。与反射 VLS 栅栏生产的排水量传感器相比,这类传感器与更简单的结构和高衍射效率包含一个栅栏。它也与温度的变化有好稳定性。
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