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涂石墨粉增强金刚石薄膜形核密度的研究
涂石墨粉增强金刚石薄膜形核密度的研究
来源 :西北工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:litho
【摘 要】
:
涂石墨粉增强金刚石薄膜形核密度的研究张贵锋,耿东生,李兴无,郑修麟关键词CVD(化学气相沉积),预涂层,石墨粉,金刚石膜中图分类号TB43微电子学等领域的应用往往要求金刚石选择性生长;而作为耐
【作 者】
:
张贵锋
李兴元
【机 构】
:
西北工业大学
【出 处】
:
西北工业大学学报
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
石墨粉
金刚石薄膜
形核密度
CVD
chemical vapor deposition
precoating
graphite particle
dia
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涂石墨粉增强金刚石薄膜形核密度的研究张贵锋,耿东生,李兴无,郑修麟关键词CVD(化学气相沉积),预涂层,石墨粉,金刚石膜中图分类号TB43微电子学等领域的应用往往要求金刚石选择性生长;而作为耐磨硬质涂层,要求最大限度地提高形核密度,以便获得连续、均匀...
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