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离子注入后品圆清洗带来的材料和掺杂剂损失的测量
离子注入后品圆清洗带来的材料和掺杂剂损失的测量
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:HanMa_1978
【摘 要】
:
对45nm及以下技术节点的逻辑器件嗣造来说,经过次数不断增加的高剂量离子注入光阻层的清洗步骤后,仍保持超浅结(USJ)的完整性非常重要。在PMOS区采用SiGe带来了材料方面的又—挑
【作 者】
:
Nikki Edleman
Yong-Siang Tan
T
【机 构】
:
IBMMicroelectronicsHopewellJunction,CharteredSemiconductorMfg.Ltd.,MattsonTechnology
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2009年1期
【关键词】
:
离子注入
精确测量
损失量
材料
清洗
掺杂剂
SIGE
逻辑器件
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对45nm及以下技术节点的逻辑器件嗣造来说,经过次数不断增加的高剂量离子注入光阻层的清洗步骤后,仍保持超浅结(USJ)的完整性非常重要。在PMOS区采用SiGe带来了材料方面的又—挑战。一种新型短循环法可精确测量各种去胶储洗工艺造成的非晶硅或SiGe的损失量。
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