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研究了直流磁控溅射Ti、TiMo、TiMoY及TiMoYAl薄膜的形貌、结构和力学性能,探讨了合金化对Ti膜的影响。结果表明,合金化使Ti膜由α相结构转变为α＋β双相结构,改变了薄膜的择优取向,降低了薄膜表面粗糙度,并改善了薄膜的力学性能。
合金化对溅射Ti膜材结构和力学性能的影响
【摘 要】
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研究了直流磁控溅射Ti、TiMo、TiMoY及TiMoYAl薄膜的形貌、结构和力学性能,探讨了合金化对Ti膜的影响。结果表明,合金化使Ti膜由α相结构转变为α＋β双相结构,改变了薄膜的择
【机 构】
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中国科学院金属研究所
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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2012年6期
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