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期刊论文
合金化对溅射Ti膜材结构和力学性能的影响
合金化对溅射Ti膜材结构和力学性能的影响
来源 :原子能科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tmsyh
【摘 要】
:
研究了直流磁控溅射Ti、TiMo、TiMoY及TiMoYAl薄膜的形貌、结构和力学性能,探讨了合金化对Ti膜的影响。结果表明,合金化使Ti膜由α相结构转变为α+β双相结构,改变了薄膜的择
【作 者】
:
马红伟
刘实
熊良银
【机 构】
:
中国科学院金属研究所
【出 处】
:
原子能科学技术
【发表日期】
:
2012年6期
【关键词】
:
磁控溅射
Ti膜
合金化
magnetron sputtering
Ti films
alloying
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研究了直流磁控溅射Ti、TiMo、TiMoY及TiMoYAl薄膜的形貌、结构和力学性能,探讨了合金化对Ti膜的影响。结果表明,合金化使Ti膜由α相结构转变为α+β双相结构,改变了薄膜的择优取向,降低了薄膜表面粗糙度,并改善了薄膜的力学性能。
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