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提出了离子色谱法检测电镀液中Fˉ和Clˉ的方法。根据高沸点酸置换低沸点酸,用硫酸作为蒸馏剂,在一定的温度下,将Fˉ和Clˉ一起蒸馏出进行分离和富集,消除了电镀液中大量共存离子的干扰和对色谱柱的污染。使用IonPacAS14A作为色谱柱,在合适的色谱条件下,Fˉ和Clˉ的色谱峰能很好地分离,其检出限分别为0.84/μg/L和0.37μg/L,相对标准偏差Fˉ小于7.3%,Clˉ小于4.2%(n=10),加标回收率Fˉ在91%~107%、Clˉ在95%~105%之间(n=10),电镀液中共存离子对Fˉ和Clˉ