亚微米LATCHUP测试分析实例

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关于LATCHUP理论目前相当丰富,但是关于LATCHUP的具体测试和分析文献很少介绍.本文讨论门亚微米工艺LATCHUP测试的一个例子.门的LATCHUP测试不属于常规PCM参数测试,但是在新工艺开发时,必须进行相关测试来确认设计规则.在这个例子里,作者进行LATCHUP测试和分析,最后得出相关结论.对于LATCHUP测试,不同工艺和不同测试结构在实际测试时可能会有些不同考虑,因此,希望该例子能给读者提供一些关于LATCHUP测试和分析的思路.
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