溶胶-凝胶法制备MgO薄膜的研究

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本文采用非金属醇盐以醋酸镁为起始原料,胶棉液为添加剂,在Si(100) 衬底上成功地制备了MgO 薄膜。结果表明,薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关。同时,用X射线衍射( XRD) 、原子力显微电镜(AFM) 和透射电镜( TEM) 对薄膜的微观结构进行了分析。这种制备MgO 薄膜的新方法还未见有报道。 In this paper, MgO thin films were successfully prepared on Si (100) substrate by using magnesium acetate as starting material and micelle solution as additive. The results show that the crystal structure of the film is related to the content of micelle solution and the annealing temperature. Meanwhile, the microstructure of the films was analyzed by X-ray diffraction (XRD), atomic force microscopy (AFM) and transmission electron microscopy (TEM). This new method for preparing MgO film has not been reported.
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