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2004年《功能材料与器件学报》(季刊)
【出 处】
:
激光与光电子学进展
【发表日期】
:
2003年9期
其他文献
激光消融与光化学蒸气沉积1.引言最近激光消融和光化学蒸气沉积作为生产各种薄膜的可能沉积法而受到重视。在激光消融中,强脉冲激光束将固体靶表面气化,并在真空室内沉积到基片上