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文章综合了国内外近年来有关超微粒子气敏膜元件的大量资料,论述了 SnO2超微粒子气敏膜的基本制造方法:射频溅射法（RFS）、真空蒸发法（VE）、等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）,同时讨论了制备时的工艺参数对超微粒子膜的结构、电特性和敏感特性的影响。文章还示出了近年来国内外研究得比较多的集成化超微粒子气体传感器的基本构造及应用,最后提出了超微粒子气敏膜的研究发展方向。