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期刊论文
激光切割石英摆片的若干问题研究
激光切割石英摆片的若干问题研究
来源 :中国建材科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:peixiaohe
【摘 要】
:
一、石英摆片的结构及材料1.石英摆片的结构石英摆片(如图1所示)是一种典型的传感器用石英器件.由于石英摆片形状复杂、几何尺寸精度和表面质量要求较高,其加工质量直接影响
【作 者】
:
周岩
杨乐民
张广玉
杨贺见
【机 构】
:
哈尔滨工业大学,黑龙江省电信工程局
【出 处】
:
中国建材科技
【发表日期】
:
2001年6期
【关键词】
:
激光切割
石英摆片
石英玻璃
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一、石英摆片的结构及材料1.石英摆片的结构石英摆片(如图1所示)是一种典型的传感器用石英器件.由于石英摆片形状复杂、几何尺寸精度和表面质量要求较高,其加工质量直接影响使用性能.采用合适的加工方法和合理的工艺路线,是生产高质量摆片的关键问题.
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