激光切割石英摆片的若干问题研究

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一、石英摆片的结构及材料1.石英摆片的结构石英摆片(如图1所示)是一种典型的传感器用石英器件.由于石英摆片形状复杂、几何尺寸精度和表面质量要求较高,其加工质量直接影响使用性能.采用合适的加工方法和合理的工艺路线,是生产高质量摆片的关键问题.
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