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目前,国内外功率超声应用技术中,不仅要求超声功率源具有宽的输出功率范围,而且对输出功率的稳定性,可预置性严格要求,为了适应超声雕刻工艺研究的需要,我们研究了一种输出功率从0~500W任意可变,且有频率和输出功率双重跟踪的超声功率电源。工作的频率范围是10~50kHz输出负载力压电式换能器。