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结晶良好的氧化镁薄膜具有很好的化学稳定性、热传导性和绝缘性,而且氧化镁的表面张力、晶格常数等性质与常见半导体、电极材料很接近,因此可用来制备高临界温度的超导体以及铁电薄膜的稳定阻挡层[1].同时,氧化镁也是良好的微滤材料以及功能陶瓷的衬底,广泛应用于集成电路、电子、功能陶瓷、敏感元件[2]等领域.我们采用溶胶-水热法在不锈钢和陶瓷基片上制备出质地均匀、具有适宜厚度的氧化镁薄膜.