【摘 要】
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多晶硅样品经氢氟酸和硝酸混合酸消解，采用电感耦合等离子体质谱法测定所得样品溶液中23种杂质元素的含量。通过调整分辨率来调整多原予离子对部分被测元素的干扰。方法的检出
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多晶硅样品经氢氟酸和硝酸混合酸消解，采用电感耦合等离子体质谱法测定所得样品溶液中23种杂质元素的含量。通过调整分辨率来调整多原予离子对部分被测元素的干扰。方法的检出限（3s）在0．3～19．7ng·g^-1之间。方法用于太阳能级多晶硅样品中23种元素的测定，回收率在85．2％～111％之间，相对标准偏差（n=11）在0．9％～4．69／6之间。
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