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光学元件受到污染后其光性能会变差，如何对其进行清,尽可能地恢复其原来的性能，使其能够重新使用显得的重要，本文 一种碳污染的原位清洗方法－射频弧放电法，利用原子氧与光学元件表面所沉积的碳反庆以达到清洗的目的，清洗装置建立后对北京同步辐射装置（BSRF）上所使用的光学元件进行了清洗，取得了较好的效果。