SWAGELOK半导体服务公司推出全新原子层沉积(ALD)工艺用阀

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Swagelok半导体服务公司(SSSC)向半导体业界推出一款全新的阀产品。目前在Swagelok公司的独立销售网络和服务中心均有销售的Swagelok ALD系列阀是应用于原子层沉积(ALD)工艺的超高纯度气动阀。ALD技术是半导体产业的一项新兴沉积技术。
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