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SWAGELOK半导体服务公司推出全新原子层沉积(ALD)工艺用阀
SWAGELOK半导体服务公司推出全新原子层沉积(ALD)工艺用阀
来源 :电子与封装 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mumuww
【摘 要】
:
Swagelok半导体服务公司(SSSC)向半导体业界推出一款全新的阀产品。目前在Swagelok公司的独立销售网络和服务中心均有销售的Swagelok ALD系列阀是应用于原子层沉积(ALD)工艺
【作 者】
:
张弛
【出 处】
:
电子与封装
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
原子层沉积
服务公司
推出
Swagelok公司
工艺用
半导体产业
半导体业
服务中心
销售网络
超高纯度
沉积技术
气动阀
D系列
ALD
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Swagelok半导体服务公司(SSSC)向半导体业界推出一款全新的阀产品。目前在Swagelok公司的独立销售网络和服务中心均有销售的Swagelok ALD系列阀是应用于原子层沉积(ALD)工艺的超高纯度气动阀。ALD技术是半导体产业的一项新兴沉积技术。
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