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作者研制的扫描式分子气体电感耦合等离子体(ICP)光谱仪,能用氧、空气等分子气体代替氩气作为工作气体,进行分子气体ICP放电。克服了固氩气供应的困难给ICP光谱仪的应用带来的限制。所用的RF发生器的功率为5kW,可以扩展用于ICP光谱仪的固体进样系统的研究。所设计的气路转换系统和同心石英等离子体炬管等,使扫描式分子气体ICP光谱仪既可用于分子气体ICP放电,又可用于氩ICP放电。作者还利用首次测量到的扫描式ICP光谱仪出射光谱线峰漂移与温度、波长之间的函数关系,研制发明了扫描式ICP光谱仪的智能波长校正装