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结构参数对硅热流量传感器热性能的影响
结构参数对硅热流量传感器热性能的影响
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huodong004
【摘 要】
:
基于作者所在实验室研制的硅热流量传感器,给出了其有限元模型.在分析其工作原理的基础上,重点给出了传感器各项性能,如灵敏度、流速量程、输出大小等,和传感器设计尺寸及流
【作 者】
:
高冬晖
秦明
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
2004年z1期
【关键词】
:
硅热流量传感器
热模拟
ANSYS模拟
Sillicon thermal flow sensor Thermal analysis FEA
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基于作者所在实验室研制的硅热流量传感器,给出了其有限元模型.在分析其工作原理的基础上,重点给出了传感器各项性能,如灵敏度、流速量程、输出大小等,和传感器设计尺寸及流体沟道的关系;最后,给出了关于传感器尺寸的优化的结论.
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