【摘 要】
：
为了减小定位平台在X,Y方向的振动误差,实现高精度定位,搭建了宏微结合精密定位系统,由高性能直线电机驱动,气体静压导轨支撑和导向的宏动平台实现系统的大行程微米级定位,并
【机 构】
：
苏州大学机电工程学院&,苏州纳米科技协同创新中心
【基金项目】
：
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目（20133201130003）, 国家高技术研究发展计划（“八六三”计划）资助项目（2013AA041109）
论文部分内容阅读
为了减小定位平台在X,Y方向的振动误差,实现高精度定位,搭建了宏微结合精密定位系统,由高性能直线电机驱动,气体静压导轨支撑和导向的宏动平台实现系统的大行程微米级定位,并由安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动的微动平台对系统进行定位精度补偿。建立了定位系统机电耦合振动模型,采用比例积分微分（proportion integral derivative,简称PID）控制与最小节拍响应控制相结合的策略控制宏动平台,采用前馈-PID控制驱动微动平台,通过电容式微位移传感器实时检测定位系统终端的位置输出信号作为微动台的输
其他文献
针对目前网上稿件管理存在许多问题，如稿件丢失、稿件漏发等，分析了产生问题的原因，给出了一个完善、系统的稿件处理分流图。
针对轴心轨迹图像的特征不易提取,传统基于图像处理的轴心轨迹识别方法普遍存在信息提取不全面、形状表征不准确、特征向量与形状映射关系不明确等问题,提出了一种模仿人眼的
用经过二元光学变换后呈二维点阵(3×3和7×7)分布的脉冲激光束对球铁试样作了表面强化处理,并用环块磨损方法对其进行了耐磨性实验.试验表明,常规的环块磨损实验只
专家审稿是保证科技期刊审稿质量的关键环节。目前尚无权威部门制定的专家审稿规范或规则。为使专家审稿进一步规范化，提高专家审稿质量，有必要研究、制订统一的专家审稿规则。
为了使更多的中国科技期刊走向世界，加快信息传播国际化进程，正确认识高校科技期刊的地位和作用，对高校科技期刊与其他机构主办的科技期刊在国际重要检索系统被收录的情况进行研
对JFE-HITEN610U2L钢的显微组织和断口形貌进行了分析.该钢的显微组织以针状铁素体为主,具有良好的强韧性.当针状铁素体比较粗大时,冲击试样的断裂方式从韧窝断裂转变为解理
目的 :探讨新生儿先天梅毒早期临床表现 ,方法 :对 1994年 6月～ 2 0 0 0年 9月我科收治的 10例新生儿先天梅毒做一回顾性分析。结果 :10例患儿均于出生时或出生后 2 4小时内出
为克服单臂螺旋线形阀压电泵单臂阀运行时侧向力造成的阀体在开启与关闭中倾斜而产生的负面影响,有效地发挥螺旋线形阀压电泵阀体＂慢开启、快关闭＂的优势,首先,构造了悬臂固支