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利用各向同性腐蚀制备了硅微尖阵列，并考察了各主要工艺参数对微尖形貌的影响。
用化学方法制备硅场发射阵列
【摘 要】
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利用各向同性腐蚀制备了硅微尖阵列，并考察了各主要工艺参数对微尖形貌的影响。
【机 构】
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中国科学院长春物理研究所
【出 处】
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发光学报
【发表日期】
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1996年4期
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