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计算机模拟仿真射频磁控溅射实验制备薄膜及离于电池电极,研究了在特定实验条件下薄膜的生长过程,并分析了影响薄膜生长的部分因素.
射频磁控溅射法制备薄膜电池电极的计算机模拟初步
【摘 要】
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计算机模拟仿真射频磁控溅射实验制备薄膜及离于电池电极,研究了在特定实验条件下薄膜的生长过程,并分析了影响薄膜生长的部分因素.
【出 处】
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大学物理实验
【发表日期】
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2004年期
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