In Situ Acquisition of Equivalent Circuit Parameters of Crystal Resonance during Copper Deposition a

来源 :Chinese Chemical Letters | 被引量 : 0次 | 上传用户：daemon999

【摘要】

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Thequartzcrystalimpedancetechniqueisapowerfulmethodtocharacterizecrystalresonancesincemultipleinformationaboutcrystalresonanceincludingtheresonantfrequencyandch

【出处】

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Chinese Chemical Letters

【发表日期】

：

1999年01期

【关键词】

：

Quartz Figure minutes Thompson Spectrum Duncan

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