精密微动工作台二维微位移机构的设计研究

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介绍了一种精度高、性能稳定、结构简单的二维微动工作台微位移机构的工作原理及其设计;着重分析了为消除机构间隙和工作台爬行,提高定位精度和响应速度所采取的技术措施:电致伸缩陶瓷驱动、柔性铰链与杠杆放大一体化结构等.
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