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我们首先介绍了三维微机电系统(MEMS)作为光交叉连接设备(OXC)的总体结构以及微反射镜角度偏转的物理原理.然后根据应用在三维MEMS的电压和微反射镜偏转角度的控制关系,讨论了基于三维微机电系统(MEMS)的多端口光交换设备的一些特性.
三维微机电系统中微反射镜的转动分析
【摘 要】
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我们首先介绍了三维微机电系统(MEMS)作为光交叉连接设备(OXC)的总体结构以及微反射镜角度偏转的物理原理.然后根据应用在三维MEMS的电压和微反射镜偏转角度的控制关系,讨论
【机 构】
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南京邮电学院
【出 处】
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光子技术
【发表日期】
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2005年1期
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