高精度中小口径非球面修抛技术研究

来源 :光学与光电技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:haolong12345
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为实现高精度中小口径非球面的加工,介绍了一种非球面修抛技术。基于Preston假设,将抛光过程描述成一个线性方程,计算得到材料的去除量与抛光时间、抛光压力和零件转速之间的函数关系。设计了整体修抛法和环带修抛法两种方法,在数控抛光的基础上,对口径为Φ117mm的凹抛物面和口径为Φ17 mm凸双曲面进行修抛,修抛后非球面的面形精度PV值为0.184μm,RMS均小于0.032μm,达到了工程化应用要求,实现了中小口径非球面的高精度加工。 In order to achieve high-precision small-diameter aspheric processing, introduced a non-spherical repair polishing technology. Based on the Preston assumption, the polishing process is described as a linear equation, and the material removal as a function of polishing time, polishing pressure and part speed is calculated. On the basis of numerical control polishing, a concave paraboloid with Φ117mm in diameter and Φ17mm convex hyperboloid with diameter of Φ17mm were repaired and polished, and the surface of the aspherical surface was repaired after polishing The accuracy PV value is 0.184μm, RMS is less than 0.032μm, which meets the engineering application requirements and realizes the high precision machining of small and medium diameter aspheric surface.
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