【摘 要】
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本文介绍了一种用于便携式创伤恢复系统压力控制的,0~-50ka硅压力传感器的结构设计、制作版图设计及制作工艺。此系统通过形成的负压环境,加快创伤愈合。测试结果表明这种结构
【机 构】
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中国空气动力研究与发展中心设计所,中国空气动力研究与发展中心计量所中心,
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本文介绍了一种用于便携式创伤恢复系统压力控制的,0~-50ka硅压力传感器的结构设计、制作版图设计及制作工艺。此系统通过形成的负压环境,加快创伤愈合。测试结果表明这种结构的传感器具有较高的灵敏度和较高的精度,性能稳定可靠,便于携带,并可利用微机械加工技术实现低成本批量生产。
This article describes a portable trauma recovery system for pressure control, 0 ~ -50ka silicon pressure sensor structure design, production layout design and production process. This system accelerates wound healing by creating a negative pressure environment. The test results show that this structure of the sensor has high sensitivity and high accuracy, stable and reliable performance, easy to carry, and the use of micro-machining technology to achieve low-cost mass production.
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