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OEM硅压阻压力传感器是采用半导体平面工艺和微机械加工工艺及传感器专用封装工艺制造的。因此不合格传感器的失效原因是很复杂的。在长期从事传感器质量检验过程中，归纳出不合格的主要原因是零点输出发生变化。文中尝试从半导体工艺原理和制造工艺方面对不合格品的失效原因进行分析，并提出相应的改进方法。
OEM压力传感器零点输出失效原因分析
【摘 要】
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OEM硅压阻压力传感器是采用半导体平面工艺和微机械加工工艺及传感器专用封装工艺制造的。因此不合格传感器的失效原因是很复杂的。在长期从事传感器质量检验过程中，归纳出不
【机 构】
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沈阳仪表科学研究院
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2009年B11期
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