FFEA电场及电子轨迹模拟讨论

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采用有限差分法,对有聚焦极的垂直双门结构的场发射阵列进行了轴对称三维模拟计算,得到发射微尖附近的电位和电子轨迹分布图,分别讨论了聚焦极电位、聚焦极孔径以及栅极电位对发射电子束的影响。聚焦极电位相对栅极越负聚焦作用越强。减小聚焦极孔径对大发散角的电子有影响,但对聚焦作用的影响不如改变电位明显。栅极电位基本上不影响电子的轨迹,仅改变了发射电子的多少。以上结论与实验基本一致。
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