Fe掺杂氢化非晶碳薄膜制备及其热稳定性能

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong476

【摘要】

：

以H2、反式-2-丁烯（T2B）和二茂铁混合气体为工作气体，用金属有机等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）制备了Fe掺杂氢化非晶碳（a-C：H：Fe）薄膜。使用X射线光电子能谱（XPS）对a-C：H：Fe薄膜成分

【作者】

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张洪亮吴卫东何智兵刘兴华李俊曹林洪巨新唐永建

【机构】

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兰州大学物理学院,中国工程物理研究院激光聚变研究中心,南京大学物理学院

【出处】

：

强激光与粒子束

【发表日期】

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2008年4期

【关键词】

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ICF靶氢化非晶碳薄膜等离子体增强化学气相沉积 FE掺杂热重分析 ICF target Hydrogenated amorphous carbon fi

【基金项目】

：

国家高技术发展计划项目

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以H2、反式-2-丁烯（T2B）和二茂铁混合气体为工作气体，用金属有机等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）制备了Fe掺杂氢化非晶碳（a-C：H：Fe）薄膜。使用X射线光电子能谱（XPS）对a-C：H：Fe薄膜成分进行了分析。使用台阶仪、场发射扫描电镜（FESEM）、热重分析和紫外可见分光光度计（UV-VIS）,对比分析了a-C：H薄膜和a-C：H：Fe薄膜的沉积速率、表面形貌、热稳定性和光学带隙变化。研究表明：相同制备条件下，相比a-C：H薄膜，a-C：H：Fe薄膜的沉积速率高，表面颗粒小,容易碳化,

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