【摘 要】
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本文描述了一种新型纳米真空沟道三极管,在纳米尺度下使电子在真空中实现弹道传输,大大优于半导体载流子在介质中的传输,从而使器件的信息处理速度得到极大地提高。纳米真空
【机 构】
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北京真空电子技术研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室
【基金项目】
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大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室军用电子预研基金项目(614280702011701)
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本文描述了一种新型纳米真空沟道三极管,在纳米尺度下使电子在真空中实现弹道传输,大大优于半导体载流子在介质中的传输,从而使器件的信息处理速度得到极大地提高。纳米真空沟道三极管有三种途径获得,一是采用场致发射电子源,构建纳米真空沟道三极管;二是采用肖特基二极管中的二维电子气作为电子源,构成纳米真空沟道三极管;三是采用激光照射产生的光电子作为电子源,构成纳米真空沟道三极管。无论采用哪一种电子源都是可以用来制造新型纳米真空沟道三极管的电子源,都值得我们进一步研究。
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