【摘 要】
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在湿式或干式晶圆/晶圆盒表面状态下进行氮气净化测试.在快速的净化与进入过程(无净化)中测试了氧气与湿气浓度.测量采用60、30和5LPM(升/每分钟)的吹气流率以及2个小时的进
【机 构】
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Asyst Technologies, Inc.
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在湿式或干式晶圆/晶圆盒表面状态下进行氮气净化测试.在快速的净化与进入过程(无净化)中测试了氧气与湿气浓度.测量采用60、30和5LPM(升/每分钟)的吹气流率以及2个小时的进入测试时间.结果显示,净化与进入过程中的晶圆盒(FOUP)内氧气浓度几乎与晶圆/晶圆盒状态无关.另一方面,晶圆/晶圆盒表面状态对湿气净化及进入过程有重大影响.晶圆/晶圆盒的表面状态越干燥,晶圆盒内就能够实现越低的湿气浓度并在净化与进入过程中得以保持.
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