激光收发器件硅基平台封装设计与工艺实现

来源 :河南大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：qwaszxzx

【摘要】

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分析了光电子器件对V型槽刻蚀工艺精度的要求,计算了激光二级管（LD）与光纤直接耦合时所容许的对准容差,给出了无源对准封装工艺对设备和工艺控制精度的要求,并采用贴片精度达&#

【作者】

：

赵军良薛中会关荣锋王学立

【机构】

：

河南理工大学,华中科技大学微系统中心,华中科技大学仿真中心

【出处】

：

河南大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2006年2期

【关键词】

：

光收发器件硅基平台封装无源对准光耦合

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分析了光电子器件对V型槽刻蚀工艺精度的要求,计算了激光二级管（LD）与光纤直接耦合时所容许的对准容差,给出了无源对准封装工艺对设备和工艺控制精度的要求,并采用贴片精度达±1 μm的自动贴片倒装焊工艺和硅V型槽定位技术开发了一种激光收发器件模块. 初步的封装试验和测试证明了硅基平台无源对准封装工艺的可行性和可靠性.

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