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介绍了一种兼具光开关功能、低成本、小体积的静电驱动微电机系统(MEMS)可调光衰减器件。器件采用了静电驱动微反射镜和光纤三芯准直器,具有良好的光学性能和可靠性指标。给出了器件的衰减量和驱动电压的关系、光学性能的分析以及相关试验结果。对于该器件的灵活应用,介绍了一种PLC技术的,新型、实用、低成本的ROADM设计方案。