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对近几年国内外出现的几种多孔硅制备方法和装置,特别是电化学方法如旋转电解槽法、电偶电流法和双电解槽法进行了详细的介绍,并对它们各自的优缺点进行比较和分析,认为电化学刻蚀技术因为其特殊的优势,将在以后的发展中得到更广泛的应用.多孔硅由于其独特的物理、化学和光学性能及技术优势,已经在微传感器领域得到广泛的应用.