论文部分内容阅读
将固浸透镜技术与电光检测技术相结合 ,建立了具有亚微米空间分辨率的外部电光检测系统 ,通过使用GaAs半球作外部电光探头 ,用数值孔径为 0 3的显微物镜对波长为 1 3μm的探测光束进行聚焦 ,得到了半峰全宽直径为 0 7μm的聚焦光斑 ,成功测量了微带线上 10kHz的正弦波信号 ,验证了系统的线性响应特性 ,并得到了6mV/Hz的电压灵敏度。