【摘 要】
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在折衍混合光学系统的加工和装配过程中，折、衍器件间的对中精度严重影响混合器件玫性能，但是由于衍射器件与传统折射器件的显著差异，传统的对中手段已不再适用，如何简便实现二者
【机 构】
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清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室
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在折衍混合光学系统的加工和装配过程中，折、衍器件间的对中精度严重影响混合器件玫性能，但是由于衍射器件与传统折射器件的显著差异，传统的对中手段已不再适用，如何简便实现二者的精确对中是混合光学系统实用化过程中亟待解决的问题之一。本文提出利用干涉原理简便地实现衍射器件与折射器件的高精度对中，理论分析和实验结果表明该对中装校方法是有效可行的，可以满足光学系统的对中要求。
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