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利用脉冲碳等离子体源可以直接在Ｓｉ片和Ｇｅ片镀制类金刚石薄膜。被镀制的类金刚石薄膜一般采用激光拉曼光谱仪进行定性分析。实验结果表明：ＳＰ＾３成分含量与ＳＰ＾２成分含量之比，与放电回路的电压有关，在一定电压范围内，随电压的增加，ＳＰ＾３与ＳＰ＾２之比增大，从而选择出镀制类金刚石薄膜的最佳工艺参数。