GaAs/GaAlAs双异质结脊型波导无间距方向耦合器

来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rabeenzhu
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本文对具有金肖特基势垒电极的GaAs/GaAlAs双异质结脊型波导无间距方向耦合器进行了研究。通过合理设计器件结构,降低波导层中载流子浓度,适当控制脊高和包层中Al含量以及采用剥离掩膜,反应离子蚀刻等技术使器件总损耗降为12.2dB,串音达-25.9dB。
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