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采用反应磁控溅射法在不同条件下制备了TiO2薄膜样品，研究了衬底温度、氧分压、溅射压强等生长条件对薄膜结构特性的影响．得到了反应磁控溅射法制备锐钛矿相TiO2薄膜的最佳沉积条件，并对薄膜的表面形貌进行了测量．
反应磁控溅射法制备TiO2薄膜
【摘 要】
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采用反应磁控溅射法在不同条件下制备了TiO2薄膜样品，研究了衬底温度、氧分压、溅射压强等生长条件对薄膜结构特性的影响．得到了反应磁控溅射法制备锐钛矿相TiO2薄膜的最佳沉积
【机 构】
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绍兴文理学院物电系
【出 处】
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绍兴文理学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2007年8期
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