【摘 要】
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讨论了卧式PECVD的工作原理,对虚拟加工过程中仿真实现的关键技术进行了研究.基于Open Inventor开发平台强大的引擎机制,用程序实现了连续式等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)系统(I
【基金项目】
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上海市重大科技攻关项目(05DZ11001)
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讨论了卧式PECVD的工作原理,对虚拟加工过程中仿真实现的关键技术进行了研究.基于Open Inventor开发平台强大的引擎机制,用程序实现了连续式等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)系统(In—line PECVD System)的虚拟加工工作过程的仿真,从而保证物理样机的设计成功率、减少物理样机的设计与试制时间.
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