原子力显微镜在纳米摩擦学中应用的进展

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近年来,原子力显微镜在纳米摩擦学研究中获得了越来越广泛的应用,已经成为进行纳米摩擦学研究的重要工具之一,有力地促进了纳米摩擦学的发展.因此,对应用原子力显微镜研究纳米摩擦、纳米磨损、纳米润滑、纳米摩擦化学反应和微型机电系统的纳米表面工程等方面所取得的主要进展作了系统的综合归纳与阐述,并且提出了原子力显微镜在纳米摩擦学应用中亟待解决的几个主要问题. In recent years, AFM has gained more and more extensive application in the research of nano-tribology and has become one of the most important tools in the research of nano-tribology, which effectively promoted the development of nano-tribology. Therefore, the main progress made in the application of atomic force microscopy in the research of nano-friction, nano-wear, nano-lubrication, nano-tribological chemical reaction and nano-surface engineering of MEMS is systematically summarized and elaborated. Atomic force microscope Nano - Tribological applications in several major issues to be solved.
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