【摘 要】
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主要介绍快速热处理（ＲＴＰ）技术［１］，包括在高速双极ＩＣ的快速热退火（ＲＴＡ）［２］、Ｔｉ金属与Ｓｉ形成低阻的ＴｉＳｉ２接触同时，其上表面形成防止Ａｌ往Ｓｉ中渗透的阻挡层ＴｉＮ的ＲＴＰ，及ＥＥＰＲＯＭ隧道薄栅的快速热氧化（ＲＴＯ）［３］和用Ｎ２Ｏ加固薄栅用的快速热氮化（ＲＴＮ）等方
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所微电子学分部
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主要介绍快速热处理（ＲＴＰ）技术［１］，包括在高速双极ＩＣ的快速热退火（ＲＴＡ）［２］、Ｔｉ金属与Ｓｉ形成低阻的ＴｉＳｉ２接触同时，其上表面形成防止Ａｌ往Ｓｉ中渗透的阻挡层ＴｉＮ的ＲＴＰ，及ＥＥＰＲＯＭ隧道薄栅的快速热氧化（ＲＴＯ）［３］和用Ｎ２Ｏ加固薄栅用的快速热氮化（ＲＴＮ）等方面的应用
The rapid thermal annealing (RTP) technique [1] is introduced, including rapid thermal annealing (RTA) [2] in a high speed bipolar IC. Ti metal and Si form a low resistance TiSi2 contact. RTP for infiltrated barrier TiN, rapid thermal oxidation (RTO) of EEPROM tunneling thin gate [3], and rapid thermal nitridation (RTN) for thin gate with N2O
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“溥仪”、“婉蓉”到长春六月二十三日是个星期天。清晨七时,我随长影《末代皇后与皇妃》摄制组来到了长春火车站,采访拍摄情况。末代皇帝溥仪同皇后婉蓉到长春是1932年春
秋天好钓鱼,是一般规律,也是一个总的趋势吧。但是要真能把更多更大的鱼钓出来,还得需要找出鱼多的地方做钓点。哪里鱼多?就要“四看”、“三试”。 1.看水色。看水色是钓鱼
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由天津市东丽区旅游局、天津东丽湖旅游开发总公司和中国钓鱼网主办的2004年“万科杯”东丽湖国际鱼拓制作研讨会,于4月30日至5月3日在距天津市中心24公里的东丽湖旅游风景
滩上钓准甩线,随风转。北风天,钓南岸。南风天,去北岸。来半潮,到海滩。钓鱼线,备二盘。钓鱼钩,小而尖。钓鱼坠,笔帽贯。鱼饵料,喜新鲜。蚬子饵,海蛆卯。钩落底,扯紧线。不
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使用5.4米的手竿钓鱼,有4.5米深的水线,0.9火的风线。1千克大的的鲤鱼中钓,居然有普通家养鱼池5千克大鱼的冲击能力,给钓鱼人带来惊心动魄的刺激和愉悦。钓鱼需要搏击的刺激,
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4K视频当属今年最热的宣传点了,连手机都能拍4K了更何况是相机。而手机发布会好像色卡一样,非得把你搞出色彩选择综合症。本期发布会让我来看看又有哪些产品带来了这两味“大