【摘 要】
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从传统移相器的构造和原理出发,进一步分析了MEMS移相器的结构、特性.结果表明,MEMS移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、易于集成等突出优点.
【基金项目】
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国家 973项目《集成微光机电系统研究》(G19990 3310 5 );国家自然科学基金 (6 9876 0 12 );国家杰出青年基金(6 9975 40 9);高等学校博士学科点专项科研基金 (1998年度 );上海应用材料研究与发展基金 (2 0 0 1年度 )资助项目
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从传统移相器的构造和原理出发,进一步分析了MEMS移相器的结构、特性.结果表明,MEMS移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、易于集成等突出优点.随着高阻硅衬底在微波领域应用的扩展,MEMS移相器介质损耗大幅度降低,将能与信号处理电路一同集成于硅衬底上,便于相控阵雷达等通信系统实现微小型化.
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