Ar/CH_(4)等离子体射流发射光谱诊断研究

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为了更加深入的研究大气压条件下Ar/CH4等离子体射流的放电机理和其内部电子的状态,通过自主设计的针-环式介质阻挡放电结构,在放电频率10 kHz、一个大气压条件下产生了稳定的Ar/CH4等离子体射流,并利用发射光谱法对其进行了诊断研究。对大气条件下Ar/CH4等离子体射流的放电现象及内部活性粒子种类进行诊断分析,重点研究了不同氩气甲烷体积流量比、不同峰值电压对大气压Ar/CH4等离子体射流电子激发温度、电子密度以及C
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