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本文研究可在定温下工作，具有ＬａＦ３（氟化镧）薄膜的ＭＩＳ（金属－绝缘体－半导体）型固态氧传感器，并对其敏感机制进行了讨论。测试并分析了传感器的响应特性。
具有敏感膜的MIS型固态氧传感器的研制
【摘 要】
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本文研究可在定温下工作，具有ＬａＦ３（氟化镧）薄膜的ＭＩＳ（金属－绝缘体－半导体）型固态氧传感器，并对其敏感机制进行了讨论。测试并分析了传感器的响应特性。
【机 构】
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天津医科大学生物医学工程系,南开大学电子科学系
【出 处】
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医疗设备信息
【发表日期】
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1999年2期
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