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期刊论文
锗对CZ Si中新施主的影响
锗对CZ Si中新施主的影响
来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bladehit
【摘 要】
:
等价元素锗,掺入CZSi中后能提高硅中氧的固溶度和形成氧沉淀的临界半径,使得氧沉淀主要以均匀成核方式进行。同时,Ge容易与硅中空位表成较稳定的锗一空位复合体,降低了空位的浓度。本文
【作 者】
:
张维连
孙军生
【机 构】
:
河北工业大学半导体材料研究所
【出 处】
:
人工晶体学报
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
等价掺杂
热处理
锗
直拉硅
IC器件
CZ Si Gedoped new donor annealing
【基金项目】
:
国家自然科学基金,,河北省自然科学基金
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等价元素锗,掺入CZSi中后能提高硅中氧的固溶度和形成氧沉淀的临界半径,使得氧沉淀主要以均匀成核方式进行。同时,Ge容易与硅中空位表成较稳定的锗一空位复合体,降低了空位的浓度。本文简要地探讨了Ge在CZSi中抑制新施主形成的机理。
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