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1 前言在超大规模集成电路制造中,由于对每道工序都进行分析是很困难的,就往往对缺陷产生的原因与杂质的关系不清楚。另外,从这些工艺过程环境混入的污染(微量的外部污染),给装置的特性带来很大
气体中超微量杂质分析方法的研究（4）：特气中极微量金属杂质的捕集及分析
【摘 要】
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1 前言在超大规模集成电路制造中,由于对每道工序都进行分析是很困难的,就往往对缺陷产生的原因与杂质的关系不清楚。另外,从这些工艺过程环境混入的污染(微量的外部污染),给
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1993年2期
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