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总结了目前不同种类靶材的制备工艺，分析了国内外靶材知识产权对我国靶材产业化的影响，以及我国靶材产业发展中所遇到的一些主要问题，探讨了靶材的发展趋势。
靶材制备研究现状及研发趋势
【摘 要】
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总结了目前不同种类靶材的制备工艺，分析了国内外靶材知识产权对我国靶材产业化的影响，以及我国靶材产业发展中所遇到的一些主要问题，探讨了靶材的发展趋势。
【机 构】
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浙江省冶金研究院亚通电子有限公司
【出 处】
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浙江冶金
【发表日期】
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2007年4期
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