【摘 要】
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由于氮原子在Si(111)表面成键的失配度最小,因此考虑Si(111)取向上用不同百分比的氮原子钝化硅表面悬挂键.由第一性原理计算结果显示,当Si(111)表面层中的氮原子含量为75%—1
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由于氮原子在Si(111)表面成键的失配度最小,因此考虑Si(111)取向上用不同百分比的氮原子钝化硅表面悬挂键.由第一性原理计算结果显示,当Si(111)表面层中的氮原子含量为75%—100%时,带隙展宽并且有局域陷阱态产生.我们提出相应的局域电子态模型,从而解释了Si基氮膜光致荧光(PL)发光增强实验的物理机理.
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