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研究了气敏电导次方定律的指数和灵敏度随薄膜样品膜厚的变化，随温度的变化，气敏电导响应时间和恢复时间随膜厚的变化，随温度的变化；气敏电导振荡现象和规律。
金属氧化物半导体气敏特性研究（Ⅰ）实验研究（待续）
【摘 要】
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研究了气敏电导次方定律的指数和灵敏度随薄膜样品膜厚的变化，随温度的变化，气敏电导响应时间和恢复时间随膜厚的变化，随温度的变化；气敏电导振荡现象和规律。
【机 构】
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山东工业大学数理系
【出 处】
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山东工业大学学报
【发表日期】
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1996年4期
【基金项目】
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山东省科委资助项目,省自然科学基金
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